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                                        AMHS設備
                                        
    AMHS設備
    
                                        
    
                                        
    自動化物料搬運系統
    
                                        
    
                                            
    AMHS設備
    
                                            
    
                                                                                            
    FPD Stocker
    
                                                                                            
    
FPD OHCV 
    
                                                                                            
    
FPD OHS
    
                                                                                            
    
SEMI Stocker
    
                                                                                            
    
SEMI OHT
    
                                                                                    
    
                                        
                                
    
                                                            
    
                                    
                                        WET設備
                                        
    WET設備
    
                                        
    
                                        
    濕制程設備
    
                                        
    
                                            
    WET設備
    
                                            
    
                                                                                            
    FPD Cleaner
    
                                                                                            
    
 FPD Etcher
    
                                                                                            
    
 FPD Stripper
    
                                                                                            
    
 Batch Cleaner
    
                                                                                            
    
 Single Spin Cleaner
    
                                                                                    
    
                                        
                                
    
                                                            
    
                                    
                                        高純介質供應系統
                                        
    高純介質供應系統
    
                                        
    
                                        
    
                                        
    
                                            
    高純介質供應系統
    
                                            
    
                                                                                            
    CDS
    
                                                                                            
    
 SDS
    
                                                                                    
    
                                        
                                
    
                                                                                
    
                                
    
        
    
    
    
    


    
    
    
        
    
            
            
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