南京華易泰電子科技有限公司
南京華易泰電子科技有限公司
2021-12-01
10870
FPD Stocker
功能介紹
Stocker-Crane（主設備）用于潔凈車間內24小時不間斷高效率地進行物料的傳遞及臨時存儲
產品應用
涵蓋國內外G4.5~G10.5的面板生產工廠，適用于TFT-LCD Cassette、OLED Cassette、Cutting Panel Cassette等
技術優勢
- ● 四驅動方式搬送，搬送能力更強，更穩定可靠
● Arm采用雙驅動+非動力傳動方式，空間小、精度高
● CPS非接觸式電源供電，效率高、壽命長、靈活度高
FPD OHCV
功能介紹
高空搬送車(Overhead Conveyor)，主要負責Stocker之間的卡匣搬運
產品應用
涵蓋國內外G4.5~G10.5的面板生產工廠，適用于TFT-LCD Cassette、OLED Cassette、Cutting Panel Cassette等
技術優勢
● Port口采用四點式浮動微調機構，精確定位卡匣
● 卡匣承載部采用自動水平檢測機構，承載平穩可靠
● CPS非接觸式電源供電，效率高、壽命長、靈活度高
● 升降導向采用四方向曲柄搖桿機構，結構緊湊、精度高、承載力強
FPD OHS
功能介紹
高空穿梭車(Overhead Shuttle)，負責Stocker間的高效物流傳送，可彎道傳送和多臺配備，多用于低世代生產線
產品應用
涵蓋國內外G4.5~G10.5的面板生產工廠，適用于TFT-LCD Cassette、OLED Cassette、Cutting Panel Cassette等
技術優勢
● 浮動式自動定位機構，精確定位卡匣
● 承載部采用自動水平檢測機構，承載平穩可靠
● CPS非接觸式電源供電，效率高、壽命長、靈活度高
● BCR實時確認Shuttle位置信息，實現與CIM的實時通信
● 采用安全觸邊傳感器，緩沖器，鐳射傳感器等防護措施，調整穿梭速度，防止碰撞
SEMI Stocker
功能介紹
Stocker-Crane（主設備）主要用于潔凈車間內晶圓的臨時存儲，可以縮短一工藝設備流程結束后到下一工藝設備流程開始之間的時間差
產品應用
涵蓋國內外6~12英寸的半導體晶圓生產工廠，適用于OHT-FOUP、SMIF Pods等
技術優勢
● Arm采用雙驅動+非動力傳動方式，空間小、精度高● BCR實時確認Shuttle位置信息，實現與CIM的實時通信
● 自動Teaching機構，自動調整并保存設備位置信息，效率高、移栽精度高
● 自帶潤滑膜的滾輪-齒條結構，負載能力強、精度高、可靠性高、潔凈度高
SEMI OHT
功能介紹
空中走形式無人搬送車(Overhead Hoist Transport)，負責潔凈車間內不同制程設備之間物料的自動化搬運
產品應用
涵蓋國內外6~12英寸的半導體晶圓生產工廠，適用于OHT-FOUP、SMIF Pods等
技術優勢
● 自主研發單驅動多層取料，空間小、精度高
● 物料抓取防晃動設計，準確定位并抓取物料，穩定性高
●CPS非接觸式電源供電，效率高、壽命長、靈活度高
● BCR實時確認Shuttle位置信息，實現與CIM的實時通信
● 采用安全觸邊傳感器，緩沖器，鐳射傳感器等防護措施，調整穿梭速度，防止碰撞